概要

RR493／スカラアーム真空ロボット（シングル・アーム）は、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるリンク・アーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。

• 小さな旋回エリア（小フットプリント）
• 長いフィンガに対応、ロングリーチ
• 狭いゲート開口サイズに対応（15mm）
• 高精度
• 超高真空対応
• ハイスループット
• AWCオプション対応（ウエハ位置補正）

製品の主な仕様

被搬送物

～300mmウエハ

搬送質量

3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部（EE含む）

ワーク中心搬送距離

635mm (300mmウエハの場合)

Z軸ストローク

70mm/140mm

旋回範囲

無限回転

旋回直径

490mm

搬送精度 (X,Y)

±0.1mm

質量

70kg

耐真空度

10E-6 Pa

Heリークレート

5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)

使用温度

80℃以下

真空内使用材料

Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング

モータ仕様

真空用ダイレクトドライブモータ　（Z軸：サーボモータ）

エンコーダ仕様

ABS

ユーティリティー

DC48V（モータ駆動）、DC24V（通信）

通信仕様

TCP/IP

オプション

ティーチングペンダント、電源ユニット（AC200V Input）

製品の外形図(標準仕様)

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