PRODUCTS製品情報
ウエハ搬送システム
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大気用搬送ロボット
磁性流体シール、ロボット内部の差圧制御によりクリーンなロボット、S字加減速制御、デュアルアームにより高スループットなロボット、シンプルなメカニズムにより高信頼なロボットを実現しました。お客様の半導体製造ラインを支えます。
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真空用搬送ロボット
大気ロボットで培ってきた技術を応用することにより、高速・高信頼性を実現しました。
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アライナ
各種ウエハサイズ・材質に対応した製品をラインナップ。自社独自のセンサを搭載して今まで不可能だったウエハのアライメントを実現しました。
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ロードポート
独自の開閉機構とモータによる精密な速度制御が、ハイレベルなクリーン性能を実現しました。N2パージやストッカに対応した製品もご用意しております。
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真空プラットフォーム
PLVS/ 真空プラットフォームは、真空ロボット、真空アライナの共通の特徴であるDDM（真空・ダイレクト・ドライブ・モーター）駆動部の各種ユニットを搭載することにより、高度な位置再現性、信頼性の高い真空隔壁能力を持つ、クリーン搬送システムです。
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EFEM/SORTER
新型クリーンロボットと高速リニア走行軸の搭載で高速搬送を実現。OHTやAGVとの接続にも対応します。また、ウエハID読取カメラや反転装置といった各種ユニットの搭載により、さまざまな、お客様のニーズに対応します。
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ストッカ
ウエハソータにウエハ収納エリア（パージ機能付きPOD）を設け、テストウエハやプロセスウエハを低湿度・低酸素にストックし、ウエハの処理膜の変化を最小限に抑えます。自社独自の窒素パージユニットの搭載により少ない流量でクリーン度は基よりプロセスの微細化、歩留低下防止に貢献します。