独自製品の
開発、設計

• 自律分散型処理システム
• ドライバ・コントローラ
• 大気用ウエハ搬送ロボット（ユニット）
• 真空用ウエハ搬送ロボット（ユニット）
• ウエハ搬送装置（システム）
• ガラス基板搬送装置（システム）
• 自動細胞培養装置（インキュベータ）

垂直統合型
生産体制

グローバル
ネットワーク