概要

ウエハソータにウエハ収納エリア（パージ機能付きPOD）を設け、テストウエハやプロセスウエハを低湿度・低酸素なPOD内にストックし、ウエハの処理膜の変化を最小限に抑えます。

• 合計800/1600/3200枚のウエハをストック可能
• 少ない窒素流量で低酸素・低湿度・高クリーン性能を発揮
• オートティーチング可能
• ウエハ前面のみ開閉可能なシャッター機構でアクセス時の開口を最小化

製品の主な仕様

型式

BWS800　RI76172

搬送対象

300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm±20μm

キャリア

300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)

電源電圧

3相 AC208V±10% 50/60Hz±5%

消費電流

10kVA (30A/200VAC) FFUを含む

真空（元圧）

-80kPa～-90kPa

真空（流量）

60L/min

正圧（元圧）

0.6MPa～0.7MPa

正圧（流量）

30L/min

N2 (元圧)

0.4MPa～0.5MPa

N2（流量）

300L/min

型式

BWS1600　RI76192

搬送対象

300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm±20μm

キャリア

300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)

電源電圧

3相 AC208V±10% 50/60Hz±5%

消費電流

10kVA (30A/200VAC) FFUを含む

真空（元圧）

-80kPa～-90kPa

真空（流量）

60L/min

正圧（元圧）

0.6MPa～0.7MPa

正圧（流量）

30L/min

N2 (元圧)

0.4MPa～0.5MPa

N2（流量）

600L/min

型式

BWS3200　RSC2E2

搬送対象

300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm±20μm

キャリア

300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)

電源電圧

3相 AC208V±10% 50/60Hz±5%

消費電流

25kVA(75A/200VAC) FFUを含む

真空（元圧）

-80kPa～-90kPa

真空（流量）

60L/min

正圧（元圧）

0.6MPa～0.7MPa

正圧（流量）

40L/min

N2 (元圧)

0.4MPa～0.5MPa

N2（流量）

1200L/min

オプション

• ケミカルフィルタ
• バーコードリーダ/RF-ID

資料請求や製品に関するお問い合せは
こちら