PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:ストッカ

N2-BWS

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概要

ウエハソータにウエハ収納エリア(パージ機能付きPOD)を設け、テストウエハやプロセスウエハを低湿度・低酸素なPOD内にストックし、ウエハの処理膜の変化を最小限に抑えます。

  • 合計800/1600/3200枚のウエハをストック可能
  • 少ない窒素流量で低酸素・低湿度・高クリーン性能を発揮
  • オートティーチング可能
  • ウエハ前面のみ開閉可能なシャッター機構でアクセス時の開口を最小化

製品の主な仕様

型式
BWS800 RI76172
搬送対象
300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm±20μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
3相 AC200V~AC210V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
10kVA (30A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
-80kPa~-90kPa
真空(流量)
60L/min
正圧(元圧)
0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量)
30L/min
N2 (元圧)
0.4MPa~0.5MPa
N2(流量)
300L/min
型式
BWS1600 RI76192
搬送対象
300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm±20μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
3相 AC200V~AC210V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
10kVA (30A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
-80kPa~-90kPa
真空(流量)
60L/min
正圧(元圧)
0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量)
30L/min
N2 (元圧)
0.4MPa~0.5MPa
N2(流量)
600L/min
型式
BWS3200 RSC2E2
搬送対象
300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm±20μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
3相 AC200V~AC210V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
25kVA(75A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
-80kPa~-90kPa
真空(流量)
60L/min
正圧(元圧)
0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量)
40L/min
N2 (元圧)
0.4MPa~0.5MPa
N2(流量)
1200L/min

製品の外形図(標準仕様/BWS1600)

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オプション

  • エッジクランプ対応
  • ケミカルフィルタ
  • バーコードリーダ/RF-ID

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