概要

N2ボトムパージタイプのロードポートです。
独自のノズル機構を採用しており、マスフローコントローラ（MFC）によるガスのコントロールが可能です。
標準モデルのドア開閉機構を継承しており、ＦＯＵＰドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。

特長

• FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
• 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
• 低圧力損失フィルタ内蔵
• 独自のノズルを搭載

製品の主な仕様

特殊仕様等

パージ対応/ターンタイプ

供給電源

DC24V±10% 9A

圧縮空気

0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上

真空空気

-60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上

N2

対応

製品の外形図(標準仕様)

• 

オプション

• インフォパッドピン・ロックアウトピン
• RFID・バーコード
• 表示灯カスタマイズ
• E84対応
• 外部I/O対応
• RS232C通信仕様
• 温湿度センサ

資料請求や製品に関するお問い合せは
こちら