PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:ロードポート

RV201-F07-N

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概要

N2ボトムパージタイプのロードポートです。 独自のノズル機構を採用しており、マスフローコントローラ(MFC)によるガスのコントロールが可能です。
標準モデルのドア開閉機構を継承しており、FOUPドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。

特長

  • FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
  • 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
  • 低圧力損失フィルタ内蔵
  • 独自のノズルを搭載

製品の主な仕様

特殊仕様等
パージ対応/ターンタイプ
供給電源
DC24V±10% 9A
圧縮空気
0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上
真空空気
-60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2
対応

製品の外形図(標準仕様)

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オプション

  • インフォパッドピン・ロックアウトピン
  • RFID・バーコード
  • 表示灯カスタマイズ
  • E84対応
  • 外部I/O対応
  • RS232C通信仕様
  • 温湿度センサ

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