概要

1台で、FOUP、Auto Door FOSB、200mm OCの運用が可能なロードポートです。切り換えも短時間で行うことができます。

標準モデルのドア開閉機構を継承しており、ＦＯＵＰドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。

特長

• FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
• 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
• ステージアダプタにより、200mm OCに対応可能

製品の主な仕様

特殊仕様等

オープンカセット対応

供給電源

DC24V±10% 6A

圧縮空気

0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上

真空空気

-60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上

N2

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製品の外形図(標準仕様)

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オプション

• インフォパッドピン・ロックアウトピン
• RFID・バーコード
• 表示灯カスタマイズ
• E84対応
• 外部I/O対応
• RS232C通信仕様
• 200mm/300mm対応
• ガラス対応

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