PRODUCTS製品情報
ウエハ搬送システム:ロードポート
RV201-F07-0
概要
標準的なロードポートです。
弊社独自の開閉機構を採用しており、FOUPドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。
特長
- FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
- 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
製品の主な仕様
- 供給電源
- DC24V±10% 6A
- 圧縮空気
- 0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上
- 真空空気
- -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
- N2
- -
製品の外形図(標準仕様)
オプション
- インフォパッドピン・ロックアウトピン
- RFID・バーコード
- 表示灯カスタマイズ
- E84対応
- 外部I/O対応
- RS232C通信仕様
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