PRODUCTS製品情報

マスク・レチクル搬送システム

RSR160

image

概要

レチクルのエッジ部分を最小範囲で保持し、パーティクルの付着無しに搬送します。次世代EUVマスクに対応します。

  • 自社製PODオープナ搭載により、多彩なキャリアに対応
  • ペリクル付きレチクルの搬送に対応可能(ロボットハンドの変更で対応)
  • 気流解析に基づく気流制御により、パーティクルの付着を防止

製品の主な仕様

ポート数
3
搬送対象
フォトマスク、EUVマスク6” ×6” (□152±0.4mm 厚み6.35mm±0.1mm)
キャリア
RSP-200、RSP-150、EUV POD
電源電圧
単相 AC200V – AC220V ± 10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
真空(流量)
正圧(元圧)
0.6MPa 〜 0.7MPa
正圧(流量)
10L/min
N2ガス(元圧)
N2ガス(流量)
インターロック

製品の外形図(標準仕様)

  • image

オプション

  • レチクルターンテーブル
  • レチクル反転装置
  • レチクル非接触アライメント
  • レチクルQRコード読み取りカメラ

資料ダウンロード

この製品に関するお問い合わせは
こちら

Page Top