概要

レチクルのエッジ部分を最小範囲で保持し、パーティクルの付着無しに搬送します。次世代EUVマスクに対応します。

• 自社製PODオープナ搭載により、多彩なキャリアに対応
• ペリクル付きレチクルの搬送に対応可能（ロボットハンドの変更で対応）
• 気流解析に基づく気流制御により、パーティクルの付着を防止

製品の主な仕様

ポート数

3

搬送対象

フォトマスク、EUVマスク6” ×6” (□152±0.4mm 厚み6.35mm±0.1mm)

キャリア

RSP-200、RSP-150、EUV POD

電源電圧

単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%

消費電流

4kVA (20A/200VAC) FFUを含む

真空（元圧）

－

真空（流量）

－

正圧（元圧）

0.6MPa 〜 0.7MPa

正圧（流量）

10L/min

N2ガス（元圧）

－

N2ガス（流量）

－

インターロック

－

製品の外形図(標準仕様)

• 

オプション

• レチクルターンテーブル
• レチクル反転装置
• レチクル非接触アライメント
• レチクルQRコード読み取りカメラ

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