PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:大気用搬送ロボット

RR759L27

image

概要

RR759は全軸にアブソリュートエンコーダ付きステッピングモータを搭載したブーメランアーム型ロボットです。アーム軸と旋回軸の同期補間動作によって、走行軸なしで2ポートにアクセスできます。外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。旋回動作に死角がなく、全方向へアクセスできます。

  • 全軸ABS付ステッピングサーボモータを搭載
  • 走行軸レスにて2ポートアクセスが可能
  • アーム剛性強化により高重量ハンドに対応
  • ロボット走行軸の制御が可能
  • 旋回死角がなく、全方向へのアクセスが可能
  • ロングリーチに対応
  • RR759 に関しましては、原則としてシステム製品に組み込んだ状態でのみ販売

製品の主な仕様

アーム/ブレード
ダブル
アーム長[mm]
270
Z軸ストローク[mm]
190/420/550
最大搬送位置 [mm]※1
962
旋回範囲 [deg]
420
搬送精度[mm]
±0.1
クリーン度 ISO-CLASS
1
旋回半径[deg]※2
R320
エンコーダ仕様
アブソリュート

※1:300mmウエハの場合

※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。

製品の外形図(標準仕様)

  • image

資料請求や製品に関するお問い合せは
こちら

Page Top