PRODUCTS製品情報
ウエハ搬送システム:大気用搬送ロボット
RR756L15
概要
RR756は全軸にアブソリュートエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。アーム軸と旋回軸の同期補間動作によって、走行軸なしで2ポートにアクセスできます。外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。
- 全軸ABS付ステッピングサーボモータを搭載
- 走行軸レスにて2ポートアクセスが可能
- アーム剛性強化により高重量ハンドに対応
- ロボット走行軸の制御が可能
製品の主な仕様
- アーム/ブレード
- シングル
- アーム長[mm]
- 156
- Z軸ストローク[mm]
- 340/410/450
- 最大搬送位置 [mm]※1
- 728
- 旋回範囲 [deg]
- 330
- 搬送精度[mm]
- ±0.1
- クリーン度 ISO-CLASS
- 1
- 旋回半径[deg]※2
- R245 ~ R282.5
- エンコーダ仕様
- アブソリュート
※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。
製品の外形図(標準仕様)
資料請求や製品に関するお問い合せは
こちら