PRODUCTS製品情報
ウエハ搬送システム:真空用搬送ロボット
RR492L400
概要
RR492フロッグレッグアーム真空ロボットは、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、フルリンクアーム機構により、高い繰り返し位置決め精度を実現しています。
- 高精度
- 超高真空対応
- ハイスループット
- AWCオプション対応(ウエハ位置補正)
製品の主な仕様
- 被搬送物
- ~300mmウエハ、6”マスク等
- ワーク中心搬送距離
- 1039mm (300mmウエハの場合)
- Z軸ストローク
- 70mm/140mm
- 旋回範囲
- 無限回転
- 旋回直径
- 980mm
- 搬送精度 (X,Y)
- ±0.1mm
- 質量
- 70kg
- 耐真空度
- 10E-6 Pa
- Heリークレート
- 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
- 使用温度
- 80℃以下
- 真空内使用材料
- Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
- モータ仕様
- 真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
- エンコーダ仕様
- ABS
- ユーティリティー
- DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
- 通信仕様
- TCP/IP
- オプション
- ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)
製品の外形図(標準仕様)
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