概要

RR491フロッグレッグアーム真空ロボットは、駆動部にDDM（真空ダイレクトドライブモータ）を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、フルリンクアーム機構により、高い繰り返し位置決め精度を実現しています。

• 高精度
• 超高真空対応
• ハイスループット
• AWCオプション対応（ウエハ位置補正）

製品の主な仕様

被搬送物

～300mmウエハ、6”マスク等

ワーク中心搬送距離

778mm (300mmウエハの場合)

Z軸ストローク

70mm/140mm

旋回範囲

無限回転

旋回直径

810mm

搬送精度 (X,Y)

±0.1mm

質量

65kg

耐真空度

10E-6 Pa

Heリークレート

5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)

使用温度

80℃以下

真空内使用材料

Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング

モータ仕様

真空用ダイレクトドライブモータ　（Z軸：サーボモータ）

エンコーダ仕様

ABS

ユーティリティー

DC48V（モータ駆動）、DC24V（通信）

通信仕様

TCP/IP

オプション

ティーチングペンダント、電源ユニット（AC200V Input）

製品の外形図(標準仕様)

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