PRODUCTS製品情報
ウエハ搬送システム:アライナ
RA420-48V-L

概要
θ軸にX軸およびY軸を持ち、ウエハ位置補正用にZ軸機構を持つ高精度アライナです。
- スループットを向上
- 高精度(ノッチ精度±0.05°、中心精度±0.05mm)
- 透明体ガラス、貼り合わせウエハ対応
製品の主な仕様
- ウエハサイズ
- 直径 100mm ~ 200mm
- ノッチ角度精度
- ±0.05 ~ ±0.1° ※アライメントモードによって異なります。
- 中心精度
- ±0.05 ~ ±0.1mm ※アライメントモードによって異なります。
- 位置決め時間
- 2.5 ~ 6.5sec ※アライメントモードによって異なります。
- 供給電源
- DC24V 4A
- 通信方式
- TCP/IP(オプションにてRS232C対応も可)
製品の外形図(標準仕様)
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