概要

θ軸及びウエハ位置補正用にＺ軸とＸ軸機構を持つアライナです。小型・軽量タイプで設置容積を小さくできます。非接触光学式高性能センサにより、さまざまな種類のウエハアライメントに対応し、高精度なアライメントが可能です。

• 対応ウエハ：シリコン、透明体（ガラス）、貼り合わせウエハ
• 小型・軽量
• 小スペース

製品の主な仕様

ウエハサイズ

直径 300mm

ノッチ角度精度

±0.05 ～ ±0.2°

中心精度

±0.1mm

位置決め時間

5～7sec　※アライメントモードによって異なります。

供給電源

DC24V 4A

通信方式

TCP/IP（オプションにてRS232C対応も可）

製品の外形図(標準仕様)

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