概要

θ軸及びウエハ位置補正用にＺ軸とＸ軸機構を持つアライナです。小型・軽量タイプで設置容積を小さくできます。非接触光学式センサの種類により、さまざまな種類のウエハアライメントに対応可能です。

• 対応ウエハ：シリコン、（オプションにより透明体（ガラス））
• 小型・軽量
• 小スペース

製品の主な仕様

ウエハサイズ

直径 200mm、300mm

ノッチ角度精度

±0.2°

中心精度

±0.1mm

位置決め時間

5～8sec　※センサの種類およびウエハのサイズ及びアライメントモードによって異なります。

供給電源

DC24V 4A

通信方式

TCP/IP

製品の外形図(標準仕様)

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