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ソフトウェアソリューション:パッケージサービス

PackageService

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概要

Cimetrix(米国ユタ州ソルトレークシティ)は、最新の300mm半導体製造工場で用いられる通信ソフトウェアツールのメーカーとして、飛躍的に業績を伸ばしており、世界中で稼動中のほとんどの300mm半導体工場に、Cimetrixの通信ツールを搭載した半導体製造装置が納入されています。
ますます複雑多様化するデータ収集システムの需要に応え、SECS/GEMに準拠するためのCIMConnect [SS_ONLINE]に加えGEM300通信規格に完全準拠するためのCIM300 [SS_ONLINE]もご用意し、パッケージツールをお使いになる場合のメリットを最大限にひきだせるよう、強力なユーザサポートもあわせてご提供しています。
更にCimetrixが提供するEDA/Interface A ツールCIMPortal Plus [SS_EDA]では、EDA/Interface AのFreeze I(1105)とFreeze II(0710)の両バージョンだけではなく、SEMI E164規格をもサポートする、幅広いニーズに対応可能な商品です。
多くの装置メーカー様にCimetrixのソフトウェアはご利用頂いており、その完成度の高さと充実したサポートに対しては、ご好評を頂いています。

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<装置制御>

半導体、太陽光発電、その他関連する電子製造機器の分野では常に効率性の向上と生産性の最適化に努めています。
Cimetrixではソースコードを含むフレームワークソリューションCIMControlFramework [SS_CCF]を提供しています。GUIやオンライン通信の機能を搭載したこの CIMControlFramework [SS_CCF]をご使用いただくことで、装置メーカー様では自社のプロセスに注力いただき、他社との差別化が図れます。
Cimetrix のパッケージソフトウェア CIMConnect [SS_ONLINE] あるいは CIM300 [SS_ONLINE] とあわせてご使用いただくことで、 SECS/GEM あるいは GEM300 への準拠が可能です。また、同様に CIMPortal Plus [SS_EDA]とあわせてご使用いただくことで EDA/Interface A の Freeze I/Freeze II および SEMI E164 への準拠が可能です。

<SECS/GEM>

SECS/GEMの規格では、工場側のソフトウェアが製造装置の監視/制御を行うためのメッセージ、ステートマシン、シナリオを定義しています。世界中の半導体や太陽光発電、フラットパネルディスプレーなどの工場にある様々な製造装置には、工場ホスト側のソフトウェアがこれらの装置を監視/制御する目的で装置と通信が行えるよう、SECS/GEMのインタフェースが搭載されています。
また、GEM規格は半導体工場特有の記載がほとんどないため、半導体以外の製造装置にも適用可能です。
Cimetrixのパッケージソフトウェアでは、CIMConnect [SS_ONLINE]がサポートしています。この CIMConnect [SS_ONLINE]では、通信テストであれば、インストール後、簡単な設定でホストシミュレータなどと接続することができます。また、このCIMConnect [SS_ONLINE]には接続テストのためにTESTConnect [SS_ONLINE]が同梱されています。

<GEM300>

300mmウエハへの移行に伴い、工場の自動化の要求が増えました。この市場の変化をできるだけ費用効率よく実装できるようにSEMIがGEM300の規格を策定しました。SEMIの300mm通信規格に準拠することはいまではオプションではなくなっています。300mm半導体工場では工場自動化を行うためにGEM300規格への準拠を要求しています。
Cimetrixのパッケージソフトウェアでは、CIM300 [SS_ONLINE] がサポートしています。この CIM300 [SS_ONLINE]をご使用いただくことで、複雑な GEM300 の規格への準拠および追随を行うための作業が大幅に軽減されます。また、このCIM300 [SS_ONLINE]にはCIMConnect [SS_ONLINE]が同梱されています。

<EDA (Interface A)>

EDA/Interface Aは、装置データの収集を容易にし、またデータ品質を向上するために策定されました。工場側では、既存のSECS/GEMインタフェースをMESとの接続用に残しながらも、APC(Advanced Process Control)のデータ収集やe-Diagnostics(リモート保守)のためにEDA/Interface Aを使うことになります。
Cimetrixのパッケージソフトウェアでは、CIMPortal Plus [SS_EDA]がサポートしています。この CIMPortal Plus [SS_EDA]をご使用いただくことで、装置メーカー様では最も効率的にEDAに準拠することが可能となります。また、CIMPortal Plus [SS_EDA]には接続テスト等にご使用いただけるEDAクライアントツールECCE Plus [SS_EDA]が同梱されています。

Cimetrixは米国Cimetrix, Inc.の米国およびその他の国における登録商標です。またCIMControlFramework、CIMConnect、CIM300、SECSConnect、TESTConnect、CIMPortal、CIMPortal Plus、ECCE、ECCE Plusは米国 Cimetrix, Inc. の米国およびその他の国における商標です。
SEMIは米国およびその他の国におけるSEMIの商標または登録商標です。
なお、本文および図表中では、「™」、「®」は明記しておりません。

<関連資料>

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