PRODUCTS製品情報
ソフトウェアソリューション
EDA(Interface A)ソリューション
概要
Cimetrix社の CIMPortal Plusは、EDA/Interface A規格(Freeze I/Freeze IIおよびE164)をサポートするソフトウェア製品です。ISMI にも正式に認証された、装置メーカー様向け EDA/Interface A 実装のためのデファクトスタンダードとして世界中でご使用いただいています。
製品の特長
- EDA規格の二つのバージョン(1105: EDA Freeze I と 0710: EDA Freeze II) 及び
新たな SEMI E164 (EDA Common Metadata) への完全準拠が可能 - 装置モデル作成ツールを用いた迅速な装置モデルの作成や開発、
開発ライセンスに同梱されるECCE Plusを用いた接続テストが可能 - EDA Freeze I/EDA Freeze II の両方の要件を満たす装置モデルの作成が可能
- 装置内のコンポーネントの関係をグラフィカルに表現
- New Model Wizardとテンプレート作成機能により装置モデルの作成作業が大幅に軽減
アーキテクチャ概念図
関連SEMI規格
- EMI E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
- SEMI E125 Specification for Equipment Self Description (EqSD)
- SEMI E132 Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
- SEMI E134 Specification for Data Collection Management
- SEMI E138 Common Components
- SEMI E128 XML Message Structures
- SEMI E164 EDA Common Metadata
EDA/Interface A 関連製品
EDAConnect™ は、半導体工場やLED工場でプロセス装置やテスト装置からデータを収集するための工場側のソフトウェア製品です。 収集したデータはコスト削減、品質向上、生産性向上を見極めるのに不可欠なものとなります。
ECCE Plus (Equipment Client Connection Emulator) は、接続テストやメッセージの確認に使用できるEDAクライアントです。元々CimetrixはSEMATECHからの受託としてECCEを開発しましたが、このECCE Plusでは最新のEDA/Interface Aをサポートするため大幅な拡張開発を行いました。
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なお、本文および図表中では、「™」、「®」は明記しておりません。