PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム：EFEM/SORTER

ACE SORTER

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概要

新型サーボ搭載クリーンロボット、アライナ、リニア走行軸を採用することで、高スループットのソーティングを実現しました。ロードポートをフレーム前後両側へ搭載可能な構造とし、後々の増設や各種ユニットの追加が可能です。OHTやストッカへの直接接続が可能です。

  • ２台のアライナにより高速アライメント
  • エッジクランプ採用でウエハ裏面へのパーティクル転写を防止
  • ウエハ両面のID読み取りが可能
  • OHT、ストッカ組み込みに対応
  • タッチパネル上で移載指示ができ、わかりやすい操作性を実現

製品の主な仕様

型式
RSC132
ポート数
2ポート
搬送対象
300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空（元圧）
-80kPa～-90kPa
真空（流量）
30L/min
正圧（元圧）
0.6MPa～0.7MPa
正圧（流量）
20L/min
型式
RSC142
ポート数
3ポート
搬送対象
300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空（元圧）
-80kPa～-90kPa
真空（流量）
40L/min
正圧（元圧）
0.6MPa～0.7MPa
正圧（流量）
30L/min
型式
RSC152
ポート数
4ポート
搬送対象
300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空（元圧）
-80kPa～-90kPa
真空（流量）
50L/min
正圧（元圧）
0.6MPa～0.7MPa
正圧（流量）
40L/min

製品の外形図(標準仕様)

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オプション

  • ウエハ表裏反転、オープンカセット、各種搬送に対応
  • ガラスウエハ、貼り合わせウエハに対応
  • 各種ケミカルフィルタ
  • バーコードリーダ/RF-ID
  • 200mm/300mm兼用移載が可能
  • FOUPストッカ組み込みタイプ
  • イオナイザ
  • N2/XCDAパッケージ

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