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ソフトウェアソリューション

ホストオンライン通信ソリューション

Cimetrixではホストオンライン通信向けに GEM300 通信規格に準拠するための CIM300、SECS/GEM 通信規格に準拠するための CIMConnect、さらにホスト接続シミュレータとしてご使用いただける TESTConnectを提供しています。

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概要

Cimetrixの CIMConnect ソフトウェアツールキットでは、半導体製造装置の通信インタフェース開発のためのライブラリ、サンプルアプリケーション、テストツール、GEM通信マニュアルのテンプレートを提供するソフトウェア製品です。
また、CIMConnect では、SEMI SECS/GEM 規格と SEMI PV2 規格の両方をサポートできるアーキテクチャを採用しており、半導体のみならず、フラットパネルディスプレー、太陽光発電、LEDなど様々な電子産業でご採用いただいています

製品の特長

  • それぞれに独立した複数のホストへ同時にSECS IIメッセージを用いた通信が可能
  • 最小限のコーディングで SECS/GEM の実装が可能

アーキテクチャ概念図

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関連SEMI規格

  • SEMI E4 SEMI Equipment Communication Standard, Transport (SECS-I)
  • SEMI E5 SEMI Equipment Communication Standards, Data Items and Messages (SECS-II)
  • SEMI E30 Generic Equipment Model (GEM)
  • SEMI E37 High-Speed SECS Message Services, Single-Session (HSMS-SS)
  • SEMI PV2 Guide for PV Equipment Communication Interfaces (PVECI)
  • SEMI E173 Specification for XML SECS-II Message Notation (SMN)
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概要

半導体工場では、300mmの装置がSEMI GEM300 通信規格に準拠することを要求しています。
Cimetrixの CIM300は、GEM300通信規格への完全準拠を実現するソフトウェア製品です。
CIM300をご使用いただくことで、装置メーカー様では最小限の時間とコストで GEM300 および SECS/GEM 規格に準拠したインタフェースを実装できます。

製品の特長

  • SEMI GEM300 規格を実装するための規格ごとの個別のモジュール
  • シンプルで言語に依存しないプロセス通信アーキテクチャとAPI
  • SECS/GEMに準拠するための Cimetrix CIMConnectを内包
  • SECS/GEM インタフェースをテストするためのテスト用ソフトウェアを同梱

アーキテクチャ概念図

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関連SEMI規格

  • SEMI E4 SEMI Equipment Communication Standard, Transport (SECS-I)
  • SEMI E5 SEMI Equipment Communication Standards, Data Items and Messages (SECS-II)
  • SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
  • SEMI E37 High-Speed SECS Message Services (HSMS)
  • SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
  • SEMI E40 Standard for Processing Management
  • SEMI E87 Specification for Carrier Management (CMS)
  • SEMI E90 Specification for Substrate Tracking
  • SEMI E94 Specification for Control Job Management
  • SEMI E116 Specification for Equipment Performance Tracking
  • SEMI E148 Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-Clock Object
  • SEMI E157 Specification for Module Process Tracking (MPT)
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概要

TESTConnectは SECS/GEM インタフェーステストを行うためのソフトウェア製品です。 このTESTConnectを使ってメッセージスクリプトを実行することで、SECS-II のメッセージの送受信が容易に行えます。
TESTConnectは CIMConnect および CIM300 に同梱されています。

関連SEMI規格

  • SEMI E5 SEMI Equipment Communication Standards, Data Items and Messages (SECS-II)
  • SEMI E37 High-Speed SECS Message Services (HSMS)

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Cimetrixは米国Cimetrix, Inc.の米国およびその他の国における登録商標です。また CIMConnect、 CIM300、TESTConnectは米国 Cimetrix Inc. の米国およびその他の国における商標です。
SEMIは米国およびその他の国におけるSEMIの商標または登録商標です。
なお、本文および図表中では、「™」、「®」は明記しておりません。

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