※当社ブースイメージ
当社は「SEMICON Japan 2016」に出展いたします
時下ますますご隆盛のこととお慶び申し上げます。平素は格別のご高配を賜り御礼申し上げます。
本年はエンドユーザからの窒素パージの要望に対応するため、ボトムパージタイプLP、ローツェのオリジナルのシャッタドアを利用したフロントパージ式シャッタタイプLP（特許出願中）を搭載したローツェ新型「ACE EFEM」を紹介させていただきます。このACE EFEMは、ローツェの新型コントローラRC500シリーズで制御される様々な種類の自動化単体モジュール製品で構成されています。また通常の半導体前工程用だけでなく、中工程と呼ばれるファンアウト工程にも対応可能なパネル搬送ロボットを展示させて頂きます。ロングリーチの半導体ロボットをベースに小フットプリントでコンパクトなパネルの搬送を実現しています。
ご多忙中とは存じますが、ぜひ当社出展ブースまでお立ち寄りいただき、ご高覧を賜りますようお願い申し上げます。
イベント概要
●イベント名／SEMICON Japan 2016
●会期／2016年12月14日（水）－2016年12月16日（金）
●会場／東京ビッグ・サイト
●ホール番号／東棟4ホール
●ブース番号／4308
主な出展製品
●RR759 パネル搬送ロボット
より小さい最小旋回にも関わらず、長いロボットアームリーチを持ち、かつより低いパスラインでより長いZ軸ストローク持つロボットです。従来の「コ」の字リンクが不要の為、高剛性、高加重達成出来、ガラスのような重量物の搬送に最適なロボットです。
●RV201 パージ対応ロードポート(ボトムパージタイプ)
独自の上下機構ノズルを搭載しており、ＦＯＵＰの傾きのバラツキを補正し、ガスリーク問題を大幅に改善いたしました。マスフローコントローラを内蔵しており、上位から流量コントロールが可能です。オプションにより湿度センサを搭載可能することが可能です。低圧力損失ガスフィルタを内蔵しており、クリーンな窒素を供給します。
●RV301 パージ対応ロードポート(シャッタタイプ)
LPのFIMS面にパージ専用ノズルを設け、FOUPドアが開いた状態でFOUP内に窒素をパージします。LPのミニエン側に25段のシャッターを設けることで、ミニエン内の気流がFOUP内に侵入する事を防ぎ、FOUP内を低酸素／低湿度状態に保ちます。ロボットがウエハアクセスするスロットのみシャッター開閉する事で開口面積を最小にし、FOUP内の酸素濃度、湿度の変化を最小限にします。LPの取付規格（SEMI E63 BOLTS-M）に準拠しており、パーマネント・リザーブド・スペース：100mm以下を実現する薄型設計により既存装置にも、そのまま載せ替え可能です。
●RR581 ハイスループット真空用搬送ロボット
高速ウエハ入れ替え動作が可能な、ハイスループットWアーム真空ロボットです。低中真空から高真空まで対応しており、コンパクトな構造により、チャンバ容積の小型化に貢献し、クリーンな搬送を実現します。
東証一部上場記念・鏡開きのご案内 (15日16時より 当社ブースにて)
本年8月、当社株式は東京証券取引所市場第一部銘柄に指定されました。
これまで当社を支えていただいた皆様に感謝するとともに、今後のさらなる発展を祈念して鏡開きを行ないます。
また、当社の地元である神辺の地酒（天寶一）と福山の地ビール（仙酔ドラフト）をご用意してお待ちしております。 ハッピーアワーの時間にはぜひ当社ブースにお越しください。