PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:アライナ

RA321-C0C-BW

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概要

クランプ軸、θ軸及びZ軸を持つエッジクランプ式のアライナです。ウエハの外周を保持するエッジクランプ方式により、ウエハへのパーティクル付着を最小限に抑えます。

  • 高速・高精度(ノッチ精度±0.05°、中心精度±0.05mm)
  • 装置のスループットを向上(バッファ付き)
  • 透明体(ガラス)、貼り合わせ、画像センサを別途組み合わせることで、ノッチレスウエハにも対応可

製品の主な仕様

ウエハサイズ
直径 300mm
ノッチ角度精度
±0.05 ~ ±0.2°
中心精度
±0.05 ~ ±0.1mm ※センサの種類およびアライメントモードによって異なります。
位置決め時間
4 ~ 6.5sec
供給電源
DC24V 4A
通信方式
TCP/IP

製品の外形図(標準仕様)

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