PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:真空用搬送ロボット

RR492L400

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概要

RR492フロッグレッグアーム真空ロボットは、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、フルリンクアーム機構により、高い繰り返し位置決め精度を実現しています。

  • 高精度
  • 超高真空対応
  • ハイスループット
  • AWCオプション対応(ウエハ位置補正)

製品の主な仕様

被搬送物
~300mmウエハ、6”マスク等
ワーク中心搬送距離
1039mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク
70mm/140mm
旋回範囲
無限回転
旋回直径
980mm
搬送精度 (X,Y)
±0.1mm
質量
70kg
耐真空度
10E-6 Pa
Heリークレート
5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度
80℃以下
真空内使用材料
Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様
真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様
ABS
ユーティリティー
DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様
TCP/IP
オプション
ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)

製品の外形図(標準仕様)

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