PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム：EFEM/ソータ

ACE EFEM

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概要

新型クリーンロボットと高速リニア走行軸の搭載で、高速搬送システムを実現しました。OHTやAGVとの接続が可能です。

  • アライナを２台搭載することで、より高スループット化が可能
  • バキューム保持タイプ、エッジクランプタイプに対応（オプション）
  • 200mm/300mm兼用可能（オプション）

製品の主な仕様

型式
RSC131
ポート数
2ポート
搬送対象
300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空（元圧）
-80kPa～-90kPa
真空（流量）
40L/min
正圧（元圧）
0.6MPa～0.7MPa
正圧（流量）
20L/min
EMO接点出力
2系統（ドライ接点）
インターロック
入力8点/出力8点(絶縁I/O)
型式
RSC141
ポート数
3ポート
搬送対象
300mmウエハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)　300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空（元圧）
-80kPa～-90kPa
真空（流量）
50L/min
正圧（元圧）
0.6MPa～0.7MPa
正圧（流量）
30L/min
EMO接点出力
2系統（ドライ接点）
インターロック
入力8点/出力8点(絶縁I/O)

製品の外形図(標準仕様)

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オプション

  • オートティーチングシステム対応
  • イオナイザ取り付け
  • ケミカルフィルタ
  • ウエハ内部バッファ追加対応
  • バーコードリーダ/RF-ID
  • E84
  • N2/XCDAパージ対応ロードポートが搭載可能
  • ティーチングペンダント

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