PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:EFEM/ソータ

ACE EFEM

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概要

新型クリーンロボットと高速リニア走行軸の搭載で、高速搬送システムを実現しました。OHTやAGVとの接続が可能です。

  • アライナを2台搭載することで、より高スループット化が可能
  • バキューム保持タイプ、エッジクランプタイプに対応(オプション)
  • 200mm/300mm兼用可能(オプション)

製品の主な仕様

型式
RSC131
ポート数
2ポート
搬送対象
300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V~AC220V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
-80kPa~-90kPa
真空(流量)
40L/min
正圧(元圧)
0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量)
20L/min
EMO接点出力
2系統(ドライ接点)
インターロック
入力8点/出力8点(絶縁I/O)
型式
RSC141
ポート数
3ポート
搬送対象
300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V~AC220V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
-80kPa~-90kPa
真空(流量)
50L/min
正圧(元圧)
0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量)
30L/min
EMO接点出力
2系統(ドライ接点)
インターロック
入力8点/出力8点(絶縁I/O)
型式
RSC151
ポート数
4ポート
搬送対象
300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア
300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V~AC220V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
-80kPa~-90kPa
真空(流量)
60L/min
正圧(元圧)
0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量)
40L/min
EMO接点出力
2系統(ドライ接点)
インターロック
入力8点/出力8点(絶縁I/O)

製品の外形図(標準仕様)

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オプション

  • オートティーチングシステム対応
  • イオナイザ取り付け
  • ケミカルフィルタ
  • ウエハ内部バッファ追加対応
  • RF-ID、バーコードリーダ
  • E84
  • N2/XCDAパージ対応ロードポートが搭載可能
  • ティーチングペンダント

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