概要

第5世代大型基板に対応したローダ･アンローダ装置です。

• ロボットRR420を搭載し、小さな旋回半径でロングリーチを実現しました。
• 高剛性CFRPエンドエフェクタにカセットとの干渉を避けて基板のたわみを抑える特殊形状（特許出願中）を採用し、
  　t0.5基板の搬送にも対応可能です。また、基板ずれを検知するためのセンサも装備しています。
• 精密ラック&ピニオン方式の走行軸の採用により、10m以上の高速長距離搬送が可能です。
• ステージ毎に分割可能な構造とし、AGV、MGVへの対応。RGVやストッカへの対応も容易です。
• カセット底面からの発塵を抑えるため、カセット位置決め機構にフローティング機構を採用しました。
  　アルミプロファイルを多用することにより、FFU、イオナイザなど豊富なオプションに容易に対応でき、狭い場所への設置や
  　設置後の分解、再組み立てが可能な構造です。
• 装置の側面もしくは内側からの保守を可能にし、AGVの移動範囲やストッカ内からの保守作業の必要をなくし、保守作業での
  　安全性が向上しました。

改良型エフェクタでT0.5MMガラス基板搬送を実現

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