概要

RR751は全軸にエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。ダブルアームにより、ウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。

• 全軸ステッピングサーボモータを搭載
• ダブルアーム仕様による高いスループット
• ロボット走行軸の制御が可能

製品の主な仕様

アーム/ブレード

ダブル

アーム長[mm]

156

Z軸ストローク[mm]

340/410

最大搬送位置 [mm]※1

766

旋回範囲 [deg]

330

搬送精度[mm]

±0.1

クリーン度 ISO-CLASS

1

旋回半径[deg]※2

R282.5 ～ R335

エンコーダ仕様

インクリメンタル

※1：300mmウエハの場合

※2：リスト部及びフィンガ長さによって異なります。

製品の外形図(標準仕様)

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