PRODUCTS製品情報
ウエハ搬送システム:大気用搬送ロボット
RR751L15

概要
RR751は全軸にエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。ダブルアームにより、ウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。
- 全軸ステッピングサーボモータを搭載
- ダブルアーム仕様による高いスループット
- ロボット走行軸の制御が可能
製品の主な仕様
- アーム/ブレード
- ダブル
- アーム長[mm]
- 156
- Z軸ストローク[mm]
- 340/410
- 最大搬送位置 [mm]※1
- 766
- 旋回範囲 [deg]
- 330
- 搬送精度[mm]
- ±0.1
- クリーン度 ISO-CLASS
- 1
- 旋回半径[deg]※2
- R282.5 ~ R335
- エンコーダ仕様
- インクリメンタル ※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。
製品の外形図(標準仕様)
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