PRODUCTS製品情報

450mmウエハ対応製品

RR73BL45

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概要

RR73Bは全軸にアブソリュートエンコーダ搭載した多関節ロボットで、より細やかな衝突検知機能を実現しました。また、駆動システムには瞬発力・応答性に優れたSTEP-SERVOを採用し、ハイスループットを実現しています。RR73Bのコントローラにはモニタリング機能を搭載しており、ロボット内部の温度やトルクなど、多くの情報をリモートで取得でき、ロボットの最適な運用をサポートします。

  • 全軸ABS付ステッピングサーボモータを搭載
  • 4ポートまで走行軸無しでアクセスが可能
  • ダブルブレードによるウエハ搬送スループットの向上
  • 省スペース化を実現

製品の主な仕様

アーム/ブレード
ダブル
アーム長[mm]
450
Z軸ストローク[mm]
420
占有奥行
635
最大搬送位置 [mm]
R1250
旋回範囲 [deg]
180
搬送精度[mm]
±0.1
クリーン度 ISO-CLASS
1
旋回半径[deg]
R520
エンコーダ仕様
アブソリュート

製品の外形図(標準仕様)

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