PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:アライナ

RA120-C01

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概要

非接触光学検出方式で、スピンドル上のウエハの中心位置とノッチ位置を検出します。本アライナとロボットを組み合わせることで、ロボットフィンガ上でのセンター合わせとノッチ合わせが可能です。

  • ロボットアームとの共調動作によりウエハのアライメントを行なう
  • スピンドル軸のみの構造でコンパクト
  • 当社独自の赤外線センサでウエハを検出

製品の主な仕様

ウエハサイズ
300mm
ノッチ角度精度
アライメント性能(位置決め精度、アライメント時間)、組み合わせるロボット性能、およびロボット制御ソフトにより決まります。
中心精度
アライメント性能(位置決め精度、アライメント時間)、組み合わせるロボット性能、およびロボット制御ソフトにより決まります。
位置決め時間
アライメント性能(位置決め精度、アライメント時間)、組み合わせるロボット性能、およびロボット制御ソフトにより決まります。
供給電源
DC24V ±10% 3A
通信方式
TCP/IP

製品の外形図

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