PRODUCTS製品情報
ウエハ搬送システム：ロードポート
Active Load Port
概要
300mmロードポートの横に設置され、OHTからのFOUPの受け取り、ロードポートへの受け渡しが可能な装置です。
特長
- 装置にFOUPバッファーができることで、OHTの待ち時間短縮が可能になり装置の稼働率を向上
- 既存装置のロードポート横に設置可能で、工場のOHTラインの変更は不要
製品の主な仕様
- 供給電源
- AC100V±10% 5A
- 圧縮空気
- 0.6MPa 〜0.7MPa 10L/min
オプション
- インフォパッド検出センサ / ロックアウトピン
- RF-ID / バーコードリーダ
製品の外形図(標準仕様)
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注意事項
※ALP を導入するには、工場側のキャリア配送や管理を専門にしているソフト (MCS) を変更して、ALPと通信ができるようにしてもらう必要があります。
基本的に装置メーカーのソフトを変更する必要はありません。
※上位（MCS）と通信するための制御PCならびにソフトウェアが別途必要になります。
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