概要

300mmロードポートの横に設置され、OHTからのFOUPの受け取り、ロードポートへの受け渡しが可能な装置です。

特長

• 装置にFOUPバッファーができることで、OHTの待ち時間短縮が可能になり装置の稼働率を向上
• 既存装置のロードポート横に設置可能で、工場のOHTラインの変更は不要

製品の主な仕様

供給電源

AC100V±10% 5A

圧縮空気

0.6MPa 〜0.7MPa 10L/min

オプション

• インフォパッド検出センサ / ロックアウトピン
• RF-ID / バーコードリーダ

製品の外形図(標準仕様)

• 

資料ダウンロード

• 外形図面PDF

注意事項

※ALP を導入するには、工場側のキャリア配送や管理を専門にしているソフト (MCS) を変更して、ALPと通信ができるようにしてもらう必要があります。 基本的に装置メーカーのソフトを変更する必要はありません。
※上位（MCS）と通信するための制御PCならびにソフトウェアが別途必要になります。

この製品に関するお問い合わせは
こちら