PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:大気用搬送ロボット

RR751L15

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概要

RR751は全軸にエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。ダブルアームにより、ウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。

  • 全軸ステッピングサーボモータを搭載
  • ダブルアーム仕様による高いスループット
  • ロボット走行軸の制御が可能

製品の主な仕様

アーム/ブレード
ダブル
アーム長[mm]
156
Z軸ストローク[mm]
340/410
最大搬送位置 [mm]※1
766
旋回範囲 [deg]
330
搬送精度[mm]
±0.1
クリーン度 ISO-CLASS
1
旋回半径[deg]※2
R282.5 ~ R335
エンコーダ仕様
インクリメンタル
※1:300mmウエハの場合

※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。

製品の外形図(標準仕様)

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