PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:アライナ

RA420-48V-L

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概要

θ軸にX軸およびY軸を持ち、ウエハ位置補正用にZ軸機構を持つ高精度アライナです。

  • スループットを向上
  • 高精度(ノッチ精度±0.05°、中心精度±0.05mm)
  • 透明体ガラス、貼り合わせウエハ対応

製品の主な仕様

ウエハサイズ
直径 100mm ~ 200mm
ノッチ角度精度
±0.05 ~ ±0.1° ※アライメントモードによって異なります。
中心精度
±0.05 ~ ±0.1mm ※アライメントモードによって異なります。
位置決め時間
2.5 ~ 6.5sec ※アライメントモードによって異なります。
供給電源
DC24V 4A
通信方式
TCP/IP(オプションにてRS232C対応も可)

製品の外形図(標準仕様)

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