PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:アライナ

RA320-822-L

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概要

θ軸及びウエハ位置補正用にZ軸とX軸機構を持つアライナです。小型・軽量タイプで設置容積を小さくできます。非接触光学式高性能センサにより、さまざまな種類のウエハアライメントに対応可能です。

  • 対応ウエハ:シリコン、透明体(ガラス)、貼り合わせウエハ
  • 小型・軽量
  • 小スペース

製品の主な仕様

ウエハサイズ
直径200mm
ノッチ角度精度
±0.1~ ±0.2°
中心精度
±0.1mm
位置決め時間
5~7sec ※アライメントモードによって異なります。
供給電源
DC24V 4A
通信方式
TCP/IP,(オプション:RS232C)

製品の外形図(標準仕様)

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