PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:ストッカ

BWS600

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概要

ウエハソータにベアウエハの収納エリアを設け、ストッカ機能と通常の生産用ウエハのソータ機能を併せ持ったハイブリッド装置です。省スペースでウエハソートと収納が可能です。

  • ベアウエハを600枚収納可能で、エリアを分けて管理が可能
  • 高速ユニットの構成で最適な搬送パターンでウエハをソート
  • 内部シャッター機構により、ストッカ部とソータ部のミニエンの隔離が可能
  • オートティーチングによりティーチング時間を短縮
  • ウエハ表裏両面のID読み取りが可能

製品の主な仕様

型式
RSC172
ポート数
4
搬送対象
300mmウエハ 直径:300mm±0.2mm 厚み:775μm
キャリア
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) および 300mm FOSB 25段 (SEMI M31)
電源電圧
3相AC200V~AC220V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
14KVA(40A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧)
-80kPa 〜 -90kPa
真空(流量)
50L/min
正圧(元圧)
0.6MPa 〜 0.7MPa
正圧(流量)
50L/min

製品の外形図(標準仕様)

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オプション

  • エッジクランプ対応
  • FOUPストッカ組み込みタイプ
  • N2/XCDAパージ
  • バーコードリーダ/RF-ID
  • イオナイザ
  • E84
  • ケミカルフィルタ

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