PRODUCTS製品情報

ウエハ搬送システム:ロードポート

Active Load Port

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概要

300mmロードポートの横に設置され、OHTからのFOUPの受け取り、ロードポートへの受け渡しが可能な装置です。

特長

  • 装置にFOUPバッファーができることで、OHTの待ち時間短縮が可能になり装置の稼働率を向上
  • 既存装置のロードポート横に設置可能で、工場のOHTラインの変更は不要

製品の主な仕様

供給電源
AC100V±10% 5A
圧縮空気
0.6MPa 〜0.7MPa 10L/min

オプション

  • インフォパッド検出センサ / ロックアウトピン
  • RF-ID / バーコードリーダ

製品の外形図(標準仕様)

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資料ダウンロード

注意事項

※ALP を導入するには、工場側のキャリア配送や管理を専門にしているソフト (MCS) を変更して、ALPと通信ができるようにしてもらう必要があります。 基本的に装置メーカーのソフトを変更する必要はありません。
※上位(MCS)と通信するための制御PCならびにソフトウェアが別途必要になります。

この製品に関するお問い合わせは
こちら

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