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PLVSシリーズプロセス性能を最大限に発揮 ●最適な搬送寸法を提案し、最小のフットプリントでプラットフォームを構成 ●EFEM、プロセス装置にあわせた最適な搬送シーケンスを構築し、最大の ●真空ロボットシリーズから最適なロボットを選択し、プラットフォームを構成 |
 RR734●シングルアーム構造で、個別に制御可能な2本のフィンガ ●走行軸無しで、2ポートまたは3ポートへのアクセスが可能 ●高剛性、軽量化し、なおかつ高さを抑えた設計で、様々な ●エッジクランプ/吸着搬送の選択可能 |
 RR743●サーボモータ仕様のデュアルアームロボット ●デュアルアームにより入替え時間の短縮 ●高剛性、軽量化し、なおかつ高さを抑えた設計で、 ●エッジクランプ/吸着搬送の選択可能 |
 RR480●3軸ダイレクトドライブモータ、リンクアームを ●ゴムベルトレス駆動で、高真空まで対応 ●ロングフィンガ対応でロングリーチ、薄型開口への |
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