PRODUCTS製品情報

ソフトウェアソリューション

装置制御ソリューション

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概要

CIMControlFramework(CCF)は、画期的な装置制御ソリューションです。装置制御、基板搬送、自動化、EES対応などの周辺アプリケーション開発を高い信頼性で強力にサポートします。

  • データ・ドリブン型アーキテクチャの採用により、高速なデータ処理を実現
  • 工場とのオンライン通信のためのSECS/GEMおよびGEM300への完全準拠が可能
  • 多くの工場で採用されてきている装置データ収集のためのEDA/Interface Aの規格 (Freeze 1/Freeze 2 および E164) への
    完全準拠が可能
  • ソースコード提供型ソフトウェアフレームワークソリューション

アーキテクチャ概念図

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関連SEMI規格

  • SEMI E4 SEMI Equipment Communication Standard, Transport (SECS-I)
  • SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
  • SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
  • SEMI E37 High-Speed SECS Message Services (HSMS)
  • SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
  • SEMI E40 Standard for Processing Management
  • SEMI E84 Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
  • SEMI E87 Specification for Carrier Management (CMS)
  • SEMI E90 Specification for Substrate Tracking
  • SEMI E94 Specification for Control Job Management
  • SEMI E95 Specification for User Interface
  • SEMI E99 Specification for SECS-I and SECS-II Protocol for Carrier ID Reader/Writer Functional Standard
  • SEMI E116 Specification for Equipment Performance Tracking
  • SEMI E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
  • SEMI E125 Specification for Equipment Self Description (EqSD)
  • SEMI E132 Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
  • SEMI E134 Specification for Data Collection Management
  • SEMI E148 Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-Clock Object
  • SEMI E157 Specification for Module Process Tracking (MPT)
  • SEMI E164 EDA Common Metadata

<開発元関連リンク>

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こちら

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Cimetrixは米国Cimetrix, Inc.の米国およびその他の国における登録商標です。また CIMConnect、 CIM300、TESTConnectは米国 Cimetrix Inc. の米国およびその他の国における商標です。 SEMIは米国およびその他の国におけるSEMIの商標または登録商標です。 なお、本文および図表中では、「™」、「®」は明記しておりません。

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